蘇州曼特萊真空科技有限公司為您介紹由哪幾部分組成中央真空系統(tǒng)？
中央真空系統(tǒng)是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲(chǔ)氣罐、真空管道、真空閥門、境外過(guò)濾總成等組成的成套真空系統(tǒng)。目前，該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機(jī)械加工等行業(yè)。
真空系統(tǒng)的控制系統(tǒng)由先進(jìn)的PLC控制系統(tǒng)經(jīng)過(guò)編程后組成,以觸摸屏為人機(jī)界面,實(shí)現(xiàn)對(duì)真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設(shè)定和執(zhí)行、報(bào)警保護(hù)系統(tǒng)等的全自動(dòng)化控制。
工作流程：?jiǎn)?dòng)系統(tǒng)，主真空泵組開(kāi)始工作，直到真空罐內(nèi)真空度達(dá)到設(shè)定的上限值，真空泵自動(dòng)停止運(yùn)行，中央真空系統(tǒng)內(nèi)的真空由管路上的真空止回閥自動(dòng)截止而得到維持。如因工作需求真空罐內(nèi)真空度下降并低于設(shè)定的下限值時(shí)，備用真空泵組自動(dòng)啟動(dòng)。由此循環(huán)往復(fù)，真空系統(tǒng)的真空度能夠維持穩(wěn)定的真空源，滿足生產(chǎn)的要求。
真空系統(tǒng)自啟動(dòng)后，全部運(yùn)行過(guò)程可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制。在工作中，真空系統(tǒng)內(nèi)各處的真空度(即真空稀薄程度平均分布)始終在其允許范圍內(nèi)上下波動(dòng)，其波動(dòng)范圍可根據(jù)用戶要求進(jìn)行調(diào)整。
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